Zawiesiny polerskie – zakres wielkości cząsteczek
Typowy zakres wielkości cząstek ściernych CMP wynosi 10-250 nanometrów. Kilka technik określania wielkości cząstek umożliwia pomiar wielkości cząstek w tym zakresie z różną dokładnością i precyzją. Dyfrakcja laserowa, dynamiczne rozpraszanie światła i rozpraszanie promieni rentgenowskich pod małymi kątami to kluczowe techniki zapewniające wysoką dokładność i precyzję w tym zakresie rozmiarów.
Polerowanie chemiczno-mechaniczne
Polerowanie chemiczno-mechaniczne (CMP) szybko stało się nieodzowną techniką wytwarzania układów scalonych. Podczas procesu CMP powierzchnia płytki jest polerowana w celu wyrównania za pomocą zawiesiny i gąbki polerskiej. Cząsteczki ścierne w zawiesinie ocierają się o powierzchnię próbki, rozluźniając materiał. Chemikalia w zawiesinie następnie trawią i rozpuszczają materiał. Chociaż samo szlifowanie mechaniczne może osiągnąć rozsądny stopień planaryzacji, konieczne jest wytrawianie chemiczne, aby usunąć rozległe uszkodzenia spowodowane szlifowaniem mechanicznym. Chociaż wytrawianie chemiczne daje próbkę wolną od uszkodzeń, proces ten jest zwykle izotropowy i nie usuwa cech topograficznych. Odwiedź: https://metalografia-pik.pl/zawiesiny-polerskie/0/.
Wysokiej jakości zawiesiny CMP poparte wytrzymałością
Od najwcześniejszych dni procesu planaryzacji chemiczno-mechanicznej (CMP) dostarczamy zawiesiny CMP na rynek półprzewodników. Obecnie drugi co do wielkości dostawca zawiesin CMP na świecie i ogólnie największy dostawca materiałów eksploatacyjnych do CMP ma strategiczną pozycję, aby dostarczać rozwiązania dla coraz bardziej złożonych wymagań procesów CMP.
Oferta zawiesin obejmuje szeroką gamę rozwiązań do polerowania dielektryków i metali. Nasze ciągłe inwestycje w technologię gnojowicy obejmują dobrze finansowany program badawczo-rozwojowy, ugruntowaną i rosnącą ofertę produktów oraz globalny zasięg centrów zastosowań, które są bezpośrednio zaangażowane w zaspokajanie potrzeb klientów.
Wybór zawiesiny
Wybór rodzaju gnojowicy zależy od kilku kluczowych czynników. Zawiesiny na bazie oleju najlepiej nadają się do procesów, w których najwyższy priorytet ma osiągnięcie maksymalnej szybkości usuwania materiału. Zawiesiny na bazie oleju najlepiej stosować na metalowych płytach docierających. Zawiesiny na bazie wody są stosowane w procesach docierania i polerowania metalowych płyt lub padów polerskich. Pozwalają na łatwe czyszczenie przedmiotu obrabianego i są wyborem przyjaznym dla środowiska.
Najbardziej oczywiste różnice między docieraniem a polerowaniem to ilość usuwanego materiału i ostateczny wygląd przedmiotu obrabianego.
