Zawiesiny polerskie – nowe technologie polerowania
W zaawansowanych zastosowaniach planaryzacji chemiczno-mechanicznej (CMP) w zaawansowanych węzłach defekty w postaci zarysowań są często spowodowane aglomeracją cząstek ściernych szlamu, które mogą potencjalnie negatywnie wpłynąć na wydajność procesu. Nasza technologia umożliwia klientom przeprowadzanie analizy wielkości cząstek online iw czasie rzeczywistym, bezpośrednio w procesie strumienia płynu. Wczesna interwencja zapobiega kosztownym wahaniom plonów.
Dopasuj wielkość cząsteczek
Chociaż średnia średnica większości zawiesin CMP jest rzędu setek nanometrów, stosunkowo niewielkie ilości większych cząstek mogą sprawić, że płytka stanie się bezużyteczna. Optyczny rozmiar pojedynczych cząstek (SPOS) umożliwia użytkownikowi indywidualne wymiarowanie i liczenie tych cząstek z niespotykaną dokładnością, zanim spowodują one uszkodzenie płytki.
Dzięki SPOS pojedyncze cząsteczki przepływają przez czujnik i przechodzą przez skupioną wiązkę światła. Gdy cząsteczki przechodzą przez wiązkę laserową, światło jest blokowane, a fotodioda rejestruje spadek natężenia światła. Ten spadek intensywności jest proporcjonalny do pola przekroju cząstek. Entegris oferuje różnorodne systemy AccuSizer, które wykorzystują technologię SPOS. Systemy online zapewniają łatwość i dokładność, podczas gdy systemy stacjonarne są idealne do projektów badawczych na mniejszą skalę.
SPOS dla zawiesiny CMP
Ta część rozkładu wielkości cząstek jest często określana jako „ogon” rozkładu. Ten szczególny rozkład zawierał około 7 milionów cząstek na ml większych niż 1 µm i 22 tysiące cząstek na ml większych niż 2 µm. Dzięki analizatorowi wielkości cząstek AccuSizer użytkownik może uzyskać informacje o próbce w wysokiej rozdzielczości, których nie można rozdzielić za pomocą konwencjonalnych technik dynamicznego rozpraszania światła lub dyfrakcji światła.
W niedawnym badaniu dodano cząsteczki PSL o wielkości 1 µm do zawiesiny krzemionki CMP. Zawiesinę analizowano w systemie AccuSizer FX Mini zarówno z cząstkami 1 µm PSL, jak i bez nich. Oszacowane stężenie szczytowe wynosiło ~ 5000 cząstek/ml. Ta redukcja zapewnia znacznie wyższą czułość i granicę koincydencji cząstek. Dlatego minimalna granica wielkości cząstek jest obniżona, a granica koincydencji zwiększona. Ten system jest idealny do aplikacji online, gdzie wstępne rozcieńczenie nie jest możliwe.
